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束线多腔镀膜设备
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SVAC-FilmLab-C

束线多腔镀膜设备

真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸::6-8英寸硅片、一次放置10片。
靶:8寸以下圆形平面。
机械手自动上下基片。
真空退火,最高温度1600℃。
全自动化操作(PLC)。
真空腔室尺寸:定制。
极限真空:小于5×10-5Pa。
没有此类产品
产品描述
产品名称:束线多腔镀膜设备。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸::6-8英寸硅片、一次放置10片。
靶:8寸以下圆形平面。
机械手自动上下基片。
真空退火,最高温度1600℃。
全自动化操作(PLC)。
真空腔室尺寸:定制。
极限真空:小于5×10-5Pa。
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