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束线多腔镀膜设备

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SVAC-FilmLab-C

束线多腔镀膜设备

真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸：：6-8英寸硅片、一次放置10片。
靶：8寸以下圆形平面。
机械手自动上下基片。
真空退火，最高温度1600℃。
全自动化操作（PLC）。
真空腔室尺寸：定制。
极限真空：小于5×10^-5Pa。

产品描述

产品名称：束线多腔镀膜设备。

真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。

最大样品尺寸：：6-8英寸硅片、一次放置10片。

靶：8寸以下圆形平面。

机械手自动上下基片。

真空退火，最高温度1600℃。

全自动化操作（PLC）。

真空腔室尺寸：定制。

极限真空：小于5×10^-5Pa。