扫一扫
关注微信公众号
联系人: 杨经理 手机: 13681643194 电话: 0571-82502385 传真: 0571-82502381 邮箱: yanglin@swsvac.com
地址: 浙江省湖州市德清雷甸白云南路866号雷甸科技园9号楼
地址: 浙江省湖州市德清雷甸白云南路866号雷甸科技园9号楼
版权所有 © 2019 杭州赛威斯真空技术有限公司浙ICP备13028476号 网站建设:中企动力 杭州
杭州赛威斯真空技术有限公司
products
产品展示
产品中心
浏览量:
SVAC-FilmLab-C
束线多腔镀膜设备
最大样品尺寸::6-8英寸硅片、一次放置10片。
靶:8寸以下圆形平面。
机械手自动上下基片。
真空退火,最高温度1600℃。
全自动化操作(PLC)。
真空腔室尺寸:定制。
极限真空:小于5×10-5Pa。
产品描述
产品名称:束线多腔镀膜设备。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸::6-8英寸硅片、一次放置10片。
靶:8寸以下圆形平面。
机械手自动上下基片。
真空退火,最高温度1600℃。
全自动化操作(PLC)。
真空腔室尺寸:定制。
极限真空:小于5×10-5Pa。
上一篇:
带手套箱式镀膜设备