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带手套箱式镀膜设备
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带手套箱式镀膜设备

真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
蒸发源:圆形蒸发源(金属/有机交替分布)/束源炉。
外形尺寸:3800mm*1100mm*2000mm。
触摸屏控制。
开门方式:前移门,后拉门。
自动控制沉积速率。
可整合效率测试、旋涂等前后端设备。
真空腔室尺寸:Φ400*400*400MM。
极限真空:小于5×10-5Pa。
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产品描述
产品名称:带手套箱式镀膜设备。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
蒸发源:圆形蒸发源(金属/有机交替分布)/束源炉。
外形尺寸:3800mm*1100mm*2000mm。
触摸屏控制。
开门方式:前移门,后拉门。
自动控制沉积速率。
可整合效率测试、旋涂等前后端设备。
真空腔室尺寸:Φ400*400*400MM。
极限真空:小于5×10-5Pa。
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暂未实现,敬请期待
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