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台式镀膜设备

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台式镀膜设备

真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸：6英寸。
外形尺寸：850mm*700mm*1600mm/可定制。
可集成热蒸发、磁控溅射等沉积模块。
开门方式：前开门或上开门。
支持独立控制柜。
真空腔室尺寸：Φ350-450MM。
极限真空：小于5×10^-5Pa。

产品描述

产品名称：台式镀膜设备。

真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。

最大样品尺寸：6英寸。

外形尺寸：850mm*700mm*1600mm/可定制。

可集成热蒸发、磁控溅射等沉积模块。

开门方式：前开门或上开门。

支持独立控制柜。

真空腔室尺寸：Φ350-450MM。

极限真空：小于5×10^-5Pa。