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台式镀膜设备
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台式镀膜设备

真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
外形尺寸:850mm*700mm*1600mm/可定制。
可集成热蒸发、磁控溅射等沉积模块。
开门方式:前开门或上开门。
支持独立控制柜。
真空腔室尺寸:Φ350-450MM。
极限真空:小于5×10-5Pa。
没有此类产品
产品描述
产品名称:台式镀膜设备。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
外形尺寸:850mm*700mm*1600mm/可定制。
可集成热蒸发、磁控溅射等沉积模块。
开门方式:前开门或上开门。
支持独立控制柜。
真空腔室尺寸:Φ350-450MM。
极限真空:小于5×10-5Pa。
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