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地址: 浙江省杭州市滨江区江虹南路60号
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SVAC-ICP-350
柜式ICP刻蚀设备
真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸：6英寸。
外形尺寸：1380mm*1050mm*1846mm。
开门方式：前开门。
极限真空：小于13-39Pa（有具体工艺决定）。
产品描述
产品名称：柜式ICP刻蚀设备 SVAC-ICP-350。
真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸：6英寸。
外形尺寸：1380mm*1050mm*1846mm。
开门方式：前开门。
极限真空：小于13-39Pa（有具体工艺决定）。