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柜式ICP刻蚀设备
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SVAC-ICP-350

柜式ICP刻蚀设备

产品名称:柜式ICP刻蚀设备 SVAC-ICP-350。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
外形尺寸:1380mm*1050mm*1846mm。
开门方式:前开门。
极限真空:小于13-39Pa(有具体工艺决定)。
没有此类产品
产品描述
产品名称:柜式ICP刻蚀设备   SVAC-ICP-350。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
外形尺寸:1380mm*1050mm*1846mm。
开门方式:前开门。
极限真空:小于13-39Pa(有具体工艺决定)。
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