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箱式镀膜设备
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箱式镀膜设备

产品名称:箱式镀膜设备。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
外形尺寸:1400 x 900 x 2000mm。
可集成电子束、热蒸发、磁控溅射等多个沉积模块。
PLC/触摸屏控制。
真空腔室尺寸:Φ400-500MM。
极限真空:小于5×10-5Pa。
没有此类产品
产品描述
产品名称:箱式镀膜设备。
真空系统配置:分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸:6英寸。
外形尺寸:1400 x 900 x 2000mm。
可集成电子束、热蒸发、磁控溅射等多个沉积模块。
PLC/触摸屏控制。
真空腔室尺寸:Φ400-500MM。
极限真空:小于5×10-5Pa。
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暂未实现,敬请期待
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