PVD 薄膜沉积系统

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• 科研型薄膜沉积系统

• 干法刻蚀设备

• 标准模块

  • 热阻蒸发源

  • 有机物蒸发源

  • 磁控溅射阴极

  • 电子枪模块

  • 样品台

  • 气压调节系统

真空升华沉积系统

• 有机小分子升华提纯设备

• 升华相关定制设备

非标定制