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真空系统：进口磁悬浮分子泵、机械泵、进口真空计
加热元件：KTL (康泰尔)铁络铝电阻丝
极限真空度：优于5x10-7Torr空载)
电气控制：PLC(自动/半自动/手动操作)
过滤系统：专利冷阱过滤系统(无液氨、冷媒等介质)，温度-120C
冷却方式：风冷
报警系统：水、电、气真空等出现异常时报警提示
| 主要规格参数 | |||||
| 型号 | 研发型 | 中试型 | 量产型 | ||
| SVAC-Sub30 | SVAC-Sub60 | SVAC-Sub100 | SVAC-Sub200 | SVAC-Sub300 | |
| 管径（直径） | 30mm | 60mm | 100mm | 200mm | 300mm |
| 最大装载量 | 20g | 50g | 250g | 3Kg | 8Kg |
| 加热温区 | 6-8区（可定制） | ||||
| 控温系统 | 上下独立控温，尽快温控器，升华和收集区额外增加多个测温热电偶测试温度均匀性 | ||||
| 最高温度 | 600℃ | ||||
| 控温精度 | ±1℃ | ||||
| 加热元件 | KTL (康泰尔)铁络铝电阻丝 | ||||
| 真空系统 | 进口磁悬浮分子泵、机械泵、进口真空计 | ||||
| 极限真空度 | 优于5x10-7Torr空载) | ||||
| 电气控制 | PLC(自动/半自动/手动操作) | ||||
| 过滤系统 | 专利冷阱过滤系统(无液氨、冷媒等介质)，温度-120C | ||||
| 冷却方式 | 风冷 | ||||
| 报警系统 | 水、电、气真空等出现异常时报警提示 | ||||
