真空系统:进口磁悬浮分子泵、机械泵、进口真空计
加热元件:KTL (康泰尔)铁络铝电阻丝
极限真空度:优于5x10-7Torr空载)
电气控制:PLC(自动/半自动/手动操作)
过滤系统:专利冷阱过滤系统(无液氨、冷媒等介质),温度-120℃
冷却方式:风冷
报警系统:水、电、气真空等出现异常时报警提示
主要规格参数 | |||||
型号 | 研发型 | 中试型 | 量产型 | ||
SVAC-Sub30 | SVAC-Sub60 | SVAC-Sub100 | SVAC-Sub200 | SVAC-Sub300 | |
管径(直径) | 30mm | 60mm | 100mm | 200mm | 300mm |
最大装载量 | 20g | 50g | 250g | 3Kg | 8Kg |
加热温区 | 6-8区(可定制) | ||||
控温系统 | 上下独立控温,尽快温控器,升华和收集区额外增加多个测温热电偶测试温度均匀性 | ||||
最高温度 | 600℃ | ||||
控温精度 | ±1℃ | ||||
加热元件 | KTL (康泰尔)铁络铝电阻丝 | ||||
真空系统 | 进口磁悬浮分子泵、机械泵、进口真空计 | ||||
极限真空度 | 优于5x10-7Torr空载) | ||||
电气控制 | PLC(自动/半自动/手动操作) | ||||
过滤系统 | 专利冷阱过滤系统(无液氨、冷媒等介质),温度-120℃ | ||||
冷却方式 | 风冷 | ||||
报警系统 | 水、电、气真空等出现异常时报警提示 |