真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸：6英寸。
外形尺寸：1400 x 900 x 2000mm。
可集成电子束、热蒸发、磁控溅射等多个沉积模块。
PLC/触摸屏控制。
真空腔室尺寸：Φ400-500MM。
极限真空：小于5×10-5Pa。
极限真空：小于5×10-5Pa。
保压数据V2
真空度数据：
性能模块：
1、磁控溅射模块：
2、电子束：
电子束蒸发均匀性
注：在4寸/6寸范围内取9个点，均匀性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)
蒸发曲线
3、加热样品台：
4、热蒸发
热蒸发模块性能测试曲线
注1：Al采用AlN坩埚外缠绕钨丝蒸发。
注2：Ni、Ti采用钼棒缠绕Ni、Ti丝蒸发
注：在4寸/6寸范围内取9个点，均匀性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)
5、有机物蒸发：
有机物束源炉性能测试曲线
测试条件：Red Prime材料，密度1.0g/cm3
