真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸：6英寸。
外形尺寸：850mm*700mm*1600mm/可定制。
可集成热蒸发、磁控溅射等沉积模块。
开门方式：前开门或上开门。
支持独立控制柜。
真空腔室尺寸：Φ350-450MM。
极限真空：小于5×10-5Pa。
