真空系统配置：分子泵、机械泵、插板阀。
最大样品尺寸：6英寸。
蒸发源：圆形蒸发源（金属/有机交替分布）/束源炉。
外形尺寸：3800mm*1100mm*2000mm。
触摸屏控制。
开门方式：前移门，后拉门。
自动控制沉积速率。
可整合效率测试、旋涂等前后端设备。
真空腔室尺寸：Φ400*400*400MM。
极限真空：小于5×10-5Pa。
